МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ С ИНДУКТИВНО СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМОЙ НЕОРГАНИЧЕСКИХ МИКРОПРИМЕСЕЙ В ОСОБО ЧИСТОЙ ВОДЕ

Г. И. Кирьянов, В. В. Титов

Аннотация


Для разработки методики определения примесей на уровне следов в газах, используемых в качестве исходных материалов при производстве полупроводников, на первом этапе исследований отрабатывали методику определения микропримесей в особо чистой воде с помощью внутренних стандартов на экспериментальной квадрупольной масс-спектрометрической установке с индуктивно связанной плазмой. Рис. 4, табл. 1, список лит. 8 назв.

Полный текст:

PDF

Литература


Hutton R., Bridenne М., Coffre E. e.a. Investigations into the direct analysis of semiconductor grade gases by inductively coupled plasma mass spectrometry. — J. Anal. Atomic Spectrom., 1990, v. 5, p. 463—470.

Ramendik G.I., Tjurin D.A., Babikov Yu.I. Is a universal model for ion formation during mass spectrometric elemental analysis possible? — Anal. Chem., 1990, v. 62, p. 2501—2503.

Титов B.B. Энергия ионов в искаженных полях квадрупольного масс-анализатора. — Атомная энергия, 1994, т. 76, вып. 3, с. 219—226.

Титов В.В. Теоретические аспекты работы квадрупольного масс-спектрометра с искаженным анализирующим полем. — Там же, 1986, т. 61, вып. 2, с. 103—110.

Титов В.В. Аналитические и численные методы моделирования ионно-оптических систем квадрупольного масс-спектрометра. — Там же, 1993, т. 75, вып. 2, № 8. с. 109—121.

Титов В.В. Экспериментальные аспекты сепарации ионов в искаженных полях квадрупольнопо масс-анализатора. — Вопросы атомной науки и техники. Сер. Техническая физика и автоматизация, 1994, вып. 1/2(49/50), с. 35—49.

Titov V.V. Isotopic quadrupole mass spectrometry of hydrogen and helium. — J. Radioanal. Nucl. Chem. Art., 1993, v. 174, № 2. p. 205—222.

Kir’yanov G.I., Titov V.V. Determination of inorganic impurities in high pure water by ICP-MS. — ICP Inf. Newslett., 1992, v. 18, № 7, p. 412.


Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.