ТОМСКИЙ КОМПЛЕКС НЕЙТРОННО-ТРАНСМУТАЦИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ

В. А. Варлачев, А. Н. Кузин, С. В. Лыхин, Е. С. Солодовников, Ю. П. Усов, А. В. Фотин, Ю. А. Цибульников

Аннотация


Дано описание комплекса нейтронно-трансмутационного легирования кремния, созданного на исследовательском ядерном реакторе ИРТ ПИИ ядерной физики Томского политехнического университета. Мощность реактора 6 МВт. Контейнер со слитками кремния длиной 750, диаметром 130 мм облучается в горизонтальном канале реактора диаметром 150 мм, проходящем сквозь бериллиевый отражатель. Равномерность облучения достигается вращением и одновременным возвратно-поступательным перемещением контейнера по каналу в процессе облучения. Максимальная плотность потока тепловых нейтронов в канале 1,1· 10см-2· с-1. Флюенс тепловых нейтронов контролируется камерами деления КтВ-4. Производительность комплекса при легировании слитков кремния диаметром 12,7 см номинального электросопротивления 60 Ом· см составляет 4500 кг/год. Рис. 2, список лит. 3 назв.

Полный текст:

PDF

Литература


Нейтронное трансмутационное легирование полупроводников. Под ред. Дж. Миза. М.: Мир, 1982. 264 с.

Смирнов Л.С., Соловьев С.П., Стась В.Ф., Харченко В.А. Легирование полупроводников методом ядерных реакций. Новосибирск: Наука, 1981. 182 с.

Бать Г.А., Коченов А.С., Кабанов Л.П. Исследовательские ядерные реакторы. М.: Атомиздат, 1985. 278 с.


Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.